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J. Yang, Y. Shi, H. Zhong, et al. Preparation of sacrificial layer for MEMS devices by lift-off technology[J]. Microsystem Technologies Microsystem Technologies, 2014, 20(2): 259-263 J. Yang, X.Q. Jiao, R. Zhang, et al. Growth of AlN films as a function of Temperature on Mo films deposited by different techniques Journal of Electronic Materials, 2014, 43(2): 369-374 万分感谢！ |
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