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急问:磁控溅射生长NiO薄膜,测不出XRD? 多谢! 已有9人参与
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急问:磁控溅射生长NiO薄膜,测不出XRD? 多谢! 新手上路,哈哈 射频生长、NiO薄膜,想测出XRD: 3寸NiO靶材,在玻璃基板上, 首先,用120w,170w的RF,通Ar:O2 为15,15sccm,沉积1小时,虽然靶材中间出现了裂纹,但生长的膜,还是太薄,或者结晶差,测不出XRD。 然后,用100w的RF,通Ar:O2 为50,50sccm,沉积1小时,还是测不出XRD的峰。 到底该怎么做呢? 多谢! |
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新虫 (初入文坛)
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