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ruiyj

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[求助] 金属辅助刻蚀硅纳米线测试反射率的问题

各位大侠,大家好!大家在用HF和硝酸银溶液做刻硅片后测试反射率,在波长1100后怎么反射怎么还是那么小(小于5%)?我看文献中的大于该波长处的反射率都高于20% (小于硅的带隙的光子都是可以穿过硅片的)。是不是与硅片衬底有关,单抛还是双抛?请指教

金属辅助刻蚀硅纳米线测试反射率的问题
etching Si reflection.jpg
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