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ruiyj木虫 (正式写手)
三人行，必有我师
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[求助]
金属辅助刻蚀硅纳米线测试反射率的问题
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各位大侠，大家好！大家在用HF和硝酸银溶液做刻硅片后测试反射率，在波长1100后怎么反射怎么还是那么小（小于5%）？我看文献中的大于该波长处的反射率都高于20% （小于硅的带隙的光子都是可以穿过硅片的）。是不是与硅片衬底有关，单抛还是双抛？请指教 etching Si reflection.jpg |
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