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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 科研生活 » 硅片上的薄膜的XRD怎么测
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tianci1993

木虫 (著名写手)

[求助] 硅片上的薄膜的XRD怎么测 已有7人参与

在硅片上做出的薄膜，测XRD的时候发现硅的峰太强。怎么把薄膜弄下来测试？
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1楼 2014-04-29 17:52:53
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感性的鸟叔

新虫 (初入文坛)
可采用平行光掠入射方式，或者将测试模式改为offset coupled twotheta模式，将theta角设为一定值一般从3°开始，其他与coupled TwoTheta一样。
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11楼2017-11-08 18:51:25
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
能否再测一个单独的硅片的XRD，然后将其作为背景从原来的数据中减去呢？
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2楼2014-04-29 20:30:24
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tianci1993

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-04-29 20:30:24
能否再测一个单独的硅片的XRD，然后将其作为背景从原来的数据中减去呢？

貌似不行～～硅片的峰太强了～～影响很严重～～

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2014-04-29 21:25:41
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hsl1987

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
Si的xrd峰本来就强，可以用较小的电流扫描看一下，有没有薄膜的峰。还有就是避开Si的峰，用大电流扫描，看看有没有薄膜的峰!

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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我就是我
4楼2014-04-29 21:31:38
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