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裤腿儿铜虫 (小有名气)
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[交流]
咨询一个PLD镀膜的问题
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昨天想用SRO靶材在STO沉底上镀一层膜，作为铁电材料的缓冲层。。 但是真空度从早上6点抽到下午3点，还打不到实验用的本底真空度，，特别缓慢。。 之前一天别的同学就很快到达目标做成实验了，今天轮到我就不行了。。 我想跟大家交流一下到底是什么问题，我有下面的猜测： 1、这个SRO靶材是11年买的，就用了一次，然后没有储存在除湿柜里保存，是不是跟靶材放置太久有关。 如果是，怎么处理这个靶材才能用。 2、PLD仪器有问题，需要修理。。 请知道的人踊跃发言，，能解决问题的会再追加金币（虽然我的金币不多）。。 |
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