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Easiness

铜虫 (小有名气)

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帖子: 116
在线: 26.3小时
虫号: 420292
注册: 2007-07-09
性别: GG
专业: 电化学分析

[交流] 请问有哪位同行作磁控溅射镀膜，能不能推荐几本书

我是作磁控镀膜的，想找一本专门的磁控溅射专著，好好学习一下，希望那位大侠共享一下，不胜感激

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1楼 2008-03-07 10:17:28

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philowwq

金虫 (小有名气)

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专业: 材料物理化学

薄膜材料制备原理、技术及应用

7楼2008-03-20 18:36:25

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Antawn

铁杆木虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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帖子: 166
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虫号: 172742
注册: 2006-01-20
性别: GG
专业: 材料物理化学

新手同问,大牛们指导一下吧，谢谢！

微信chenwei1123

2楼2008-03-07 14:05:20

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lwei_txj

木虫 (正式写手)

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虫号: 300275
注册: 2006-11-25
性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功

磁控溅射的书很多啊，唐伟忠老师的《薄膜材料制备、原理与技术》，李云奇老师的《真空镀膜技术与设备》都有很详细的介绍！

3楼2008-03-07 22:56:04

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chinson

银虫 (小有名气)

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虫号: 526178
注册: 2008-03-16
性别: GG
专业: 金属结构材料

可以看看《现代材料表面技术科学》冶金工业出版社戴达煌编著
《材料表面强化技术》化学工业出版社孙希泰编著
希望有所帮助

4楼2008-03-16 12:45:37

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