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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 请问有哪位同行作磁控溅射镀膜，能不能推荐几本书
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Easiness

铜虫 (小有名气)

[交流] 请问有哪位同行作磁控溅射镀膜，能不能推荐几本书

我是作磁控镀膜的，想找一本专门的磁控溅射专著，好好学习一下，希望那位大侠共享一下，不胜感激
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1楼 2008-03-07 10:17:28
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Antawn

铁杆木虫 (小有名气)
新手同问,大牛们指导一下吧，谢谢！
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微信chenwei1123
2楼2008-03-07 14:05:20
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lwei_txj

木虫 (正式写手)
磁控溅射的书很多啊，唐伟忠老师的《薄膜材料制备、原理与技术》，李云奇老师的《真空镀膜技术与设备》都有很详细的介绍！
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3楼2008-03-07 22:56:04
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chinson

银虫 (小有名气)
可以看看《现代材料表面技术科学》冶金工业出版社 戴达煌编著
《材料表面强化技术》化学工业出版社 孙希泰编著
希望有所帮助
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4楼2008-03-16 12:45:37
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渔翁860

金虫 (正式写手)
个人感觉李云奇写的比较好！
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5楼2008-03-16 16:18:23
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cupevan

金虫 (正式写手)
我也是做磁控溅射镀膜的，有时间可以交流一下阿。
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6楼2008-03-18 16:18:39
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philowwq

金虫 (小有名气)
薄膜材料制备原理、技术及应用
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7楼2008-03-20 18:36:25
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