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Easiness

铜虫 (小有名气)

[交流] 请问有哪位同行作磁控溅射镀膜,能不能推荐几本书

我是作磁控镀膜的,想找一本专门的磁控溅射专著,好好学习一下,希望那位大侠共享一下,不胜感激
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Antawn

铁杆木虫 (小有名气)

新手同问,大牛们指导一下吧,谢谢!
微信chenwei1123
2楼2008-03-07 14:05:20
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lwei_txj

木虫 (正式写手)

磁控溅射的书很多啊,唐伟忠老师的《薄膜材料制备、原理与技术》,李云奇老师的《真空镀膜技术与设备》都有很详细的介绍!
3楼2008-03-07 22:56:04
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chinson

银虫 (小有名气)

可以看看《现代材料表面技术科学》冶金工业出版社 戴达煌编著
《材料表面强化技术》化学工业出版社 孙希泰编著
希望有所帮助
4楼2008-03-16 12:45:37
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渔翁860

金虫 (正式写手)

个人感觉李云奇写的比较好!
5楼2008-03-16 16:18:23
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cupevan

金虫 (正式写手)

我也是做磁控溅射镀膜的,有时间可以交流一下阿。
6楼2008-03-18 16:18:39
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philowwq

金虫 (小有名气)

薄膜材料制备原理、技术及应用
7楼2008-03-20 18:36:25
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