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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 如何分别在p型和n型低阻硅上制作欧姆接触电极
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kingdch

新虫 (初入文坛)

[求助] 如何分别在p型和n型低阻硅上制作欧姆接触电极 已有1人参与

如题，想在p型低阻硅上制作欧姆接触的电极，应该怎么做呢？如果是n型的呢？
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1楼 2014-04-22 14:55:06
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kingdch

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 功能薄膜 at 2014-04-22 23:10:43
在硅片上镀膜吗？

是的
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4楼2014-04-23 18:17:55
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功能薄膜

新虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
2楼2014-04-22 23:10:43
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阿甘打老虎

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
欧姆接触需要重掺杂，通过隧穿实现载流子在金属和半导体之间的渡越，因此P型硅可以在接触孔处做P型重掺杂，n型硅则在接触孔处做n型重掺杂。
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3楼2014-04-22 23:27:23
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