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kingdch

新虫 (初入文坛)

[求助] 如何分别在p型和n型低阻硅上制作欧姆接触电极 已有1人参与

如题,想在p型低阻硅上制作欧姆接触的电极,应该怎么做呢?如果是n型的呢?
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功能薄膜

新虫 (初入文坛)

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2楼2014-04-22 23:10:43
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阿甘打老虎

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
欧姆接触需要重掺杂,通过隧穿实现载流子在金属和半导体之间的渡越,因此P型硅可以在接触孔处做P型重掺杂,n型硅则在接触孔处做n型重掺杂。
3楼2014-04-22 23:27:23
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kingdch

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 功能薄膜 at 2014-04-22 23:10:43
在硅片上镀膜吗?

是的
4楼2014-04-23 18:17:55
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