应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 金属钨腐蚀液
51/1返回列表
查看: 944  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] 金属钨腐蚀液 已有2人参与

在锗（Ge）上长了几十纳米的金属钨（W）.用光刻胶做掩膜，腐蚀W但是不腐蚀锗，求腐蚀液或者其他的有效方法。Ge与钨厚度都差不多，几十纳米。双氧水腐蚀锗的，不行。HF不腐蚀W。求助哇。求助成功愿给100金币或者更多哇。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
奋斗。。。
1楼 2014-04-22 00:30:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
tt.yao: 屏蔽内容, 专业版禁止广告。下次严惩。 2015-01-06 09:51:44
本帖内容被屏蔽
7楼2014-05-08 20:33:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

wgl2003

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2014-04-22 21:37:07
干法腐蚀的效果比较好
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2014-04-22 16:58:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

月下冰魂

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wgl2003 at 2014-04-22 16:58:07
干法腐蚀的效果比较好

你说的是干法刻蚀吗？我用的SF6刻蚀，但是刻蚀Ge是速度也很快，没有选择性哦。你知道其他的干法刻蚀方法能对刻蚀W和Ge有选择性吗？
赞一下 回复此楼
奋斗。。。
3楼2014-04-23 08:20:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

光刻胶是正性还是负性？请问还需要这种腐蚀液吗？
赞一下 回复此楼
4楼2014-05-06 13:16:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭