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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 金属钨腐蚀液
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] 金属钨腐蚀液 已有2人参与

在锗（Ge）上长了几十纳米的金属钨（W）.用光刻胶做掩膜，腐蚀W但是不腐蚀锗，求腐蚀液或者其他的有效方法。Ge与钨厚度都差不多，几十纳米。双氧水腐蚀锗的，不行。HF不腐蚀W。求助哇。求助成功愿给100金币或者更多哇。
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奋斗。。。
1楼 2014-04-22 00:30:35
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月下冰魂

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wgl2003 at 2014-04-22 16:58:07
干法腐蚀的效果比较好

你说的是干法刻蚀吗？我用的SF6刻蚀，但是刻蚀Ge是速度也很快，没有选择性哦。你知道其他的干法刻蚀方法能对刻蚀W和Ge有选择性吗？
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奋斗。。。
3楼2014-04-23 08:20:19
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wgl2003

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2014-04-22 21:37:07
干法腐蚀的效果比较好
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2楼2014-04-22 16:58:07
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

光刻胶是正性还是负性？请问还需要这种腐蚀液吗？
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4楼2014-05-06 13:16:32
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月下冰魂

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting73 at 2014-05-06 13:16:32
光刻胶是正性还是负性？请问还需要这种腐蚀液吗？

需要哇，现在还没有解决呢。我们一般用的是正胶，但是有一种正胶做反转可以当负胶用。因为我的钨很薄，几十纳米，所以感觉胶只要能抗住一会就好。请问您知道有腐蚀液可以腐蚀钨不腐蚀Ge吗？
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奋斗。。。
5楼2014-05-07 11:25:30
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