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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] 金属钨腐蚀液 已有2人参与

在锗(Ge)上长了几十纳米的金属钨(W).用光刻胶做掩膜,腐蚀W但是不腐蚀锗,求腐蚀液或者其他的有效方法。Ge与钨厚度都差不多,几十纳米。双氧水腐蚀锗的,不行。HF不腐蚀W。求助哇。求助成功愿给100金币或者更多哇。
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奋斗。。。
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wgl2003 at 2014-04-22 16:58:07
干法腐蚀的效果比较好

你说的是干法刻蚀吗?我用的SF6刻蚀,但是刻蚀Ge是速度也很快,没有选择性哦。你知道其他的干法刻蚀方法能对刻蚀W和Ge有选择性吗?
奋斗。。。
3楼2014-04-23 08:20:19
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wgl2003

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2014-04-22 21:37:07
干法腐蚀的效果比较好
2楼2014-04-22 16:58:07
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

光刻胶是正性还是负性?请问还需要这种腐蚀液吗?
4楼2014-05-06 13:16:32
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting73 at 2014-05-06 13:16:32
光刻胶是正性还是负性?请问还需要这种腐蚀液吗?

需要哇,现在还没有解决呢。我们一般用的是正胶,但是有一种正胶做反转可以当负胶用。因为我的钨很薄,几十纳米,所以感觉胶只要能抗住一会就好。请问您知道有腐蚀液可以腐蚀钨不腐蚀Ge吗?
奋斗。。。
5楼2014-05-07 11:25:30
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