24小时热门版块排行榜    

查看: 1072  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] 金属钨腐蚀液 已有2人参与

在锗(Ge)上长了几十纳米的金属钨(W).用光刻胶做掩膜,腐蚀W但是不腐蚀锗,求腐蚀液或者其他的有效方法。Ge与钨厚度都差不多,几十纳米。双氧水腐蚀锗的,不行。HF不腐蚀W。求助哇。求助成功愿给100金币或者更多哇。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

奋斗。。。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

月下冰魂

木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting73 at 2014-05-06 13:16:32
光刻胶是正性还是负性?请问还需要这种腐蚀液吗?

需要哇,现在还没有解决呢。我们一般用的是正胶,但是有一种正胶做反转可以当负胶用。因为我的钨很薄,几十纳米,所以感觉胶只要能抗住一会就好。请问您知道有腐蚀液可以腐蚀钨不腐蚀Ge吗?
奋斗。。。
5楼2014-05-07 11:25:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

wgl2003

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2014-04-22 21:37:07
干法腐蚀的效果比较好
2楼2014-04-22 16:58:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

月下冰魂

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wgl2003 at 2014-04-22 16:58:07
干法腐蚀的效果比较好

你说的是干法刻蚀吗?我用的SF6刻蚀,但是刻蚀Ge是速度也很快,没有选择性哦。你知道其他的干法刻蚀方法能对刻蚀W和Ge有选择性吗?
奋斗。。。
3楼2014-04-23 08:20:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

光刻胶是正性还是负性?请问还需要这种腐蚀液吗?
4楼2014-05-06 13:16:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +5 Tide man 2026-08-11 5/250 2026-08-12 09:24 by kangban
[论文投稿] 职称评审,求友友推荐见刊最快的期刊 +4 工厂打螺丝 2026-08-08 4/200 2026-08-12 09:18 by hansi2025
[基金申请] 奇怪,两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +7 布布和一二 2026-08-10 10/500 2026-08-12 09:12 by 布布和一二
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分? +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +8 Tide man 2026-08-10 9/450 2026-08-11 20:39 by beefly
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 什么时候出结果,有咨询渠道??? +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] FileCode能看出啥? +7 要乐观耀哥 2026-08-10 17/850 2026-08-11 10:50 by 要乐观耀哥
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 关于代码变化问题,想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +3 majunge000 2026-08-10 3/150 2026-08-10 15:46 by lch2012
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
[基金申请] 好消息?这个有何含义??? +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
信息提示
请填处理意见