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Al膜方阻测量。 已有3人参与
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Al的电阻率是2.83*10-6Ω·cm，理论计算Al薄膜厚度为3um时的方阻值为0.943mΩ/□（计算方法：电阻率/薄膜厚度），测量Al靶材的方阻8mΩ/□左右，Al靶材的厚度为6mm。 我用磁控溅射制备3um厚度的Al薄l膜，基底是玻璃，用四探针测量其方阻值为50mΩ左右，与理论值差距太大了，不知道是我理论计算有问题还是靶材有问题，求高人指教！ |
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peterflyer 
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peterflyer
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4楼2014-04-14 13:32:28
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