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金虫 (正式写手)

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[求助] Al膜方阻测量。已有3人参与

Al的电阻率是2.83*10-6Ω·cm，理论计算Al薄膜厚度为3um时的方阻值为0.943mΩ/□（计算方法：电阻率/薄膜厚度），测量Al靶材的方阻8mΩ/□左右，Al靶材的厚度为6mm。
我用磁控溅射制备3um厚度的Al薄l膜，基底是玻璃，用四探针测量其方阻值为50mΩ左右，与理论值差距太大了，不知道是我理论计算有问题还是靶材有问题，求高人指教！

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1楼 2014-04-12 11:09:23

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穿越千年

版主 (著名写手)

寂寞读书的小和尚

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引用回帖:

2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-04-12 20:08:14
有几个因素可能影响Al膜的方阻：一是铝膜的厚度；二是铝膜的纯度；三是铝靶的致密度；四是铝靶和铝膜的晶体织构取向。
另外楼主也要检查一下四探针法测电阻率时接触电阻问题是否得到了有效的解决？

想请问一下，四探针法能否消除电压极的接触电阻，要是能消除，原理是什么？