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雾之祥

至尊木虫 (著名写手)

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[求助] XRD 摇摆曲线的问题（薄膜专业）已有3人参与

各位大神，小弟有关于XRD 摇摆曲线的问题想要请教大家。如果有一试验薄膜，是Cu3N生长在非晶glass上，有所谓的XRD 摇摆曲线测试这个说法吗？有的话该如何测试呢。

如果Cu3N薄膜外延生长在单晶上，且外延生长质量还不错，那么摇摆曲线又是怎么测试呢？

按照我暂时的拙劣理解：如果薄膜在单晶上外延生长比较好，那么采用omega/2theta扫描形式扫描摇摆曲线。假设我想看Cu3N（111）晶面（2theta=40.893°）的FWHM，我仅仅是将2theta角设定为35.893°~45.893°，然后扫描形式选择为omega扫描？这样跟我做theta-2theta从20°~80°的out-of-plane面外扫描有啥区别呢？完全就是一回事嘛，只不过扫描速度不一样罢了？？？

小弟试探性的测试了Cu3N在glass上的omega扫描（2theta角设定为35.893°~45.893°），无峰。

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1楼 2014-04-07 15:02:27

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雾之祥

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引用回帖:

12楼: Originally posted by 迷迭咖啡影 at 2015-09-02 20:34:09
1）据我最新理解，ω扫描是固定布拉格衍射角θB（θB=20.4465°）（固定入射X射线和检测器），样品在θB附近Δω转动，得到I-ω图中峰的FWHM。
2）而仅仅是将2θ角设定为35.893°~45.893°进行θ-2θ扫描（固定样 ...

1）理解跟我给你的解释是一个意思，我的太长显得“啰嗦”了些，你的简短直白了些，意思表达是一样的，也就是我说的“ω应该是指2theta/2的那个角度值，说白了也就是指布拉格衍射角”，
2）你的理解很正确，此两种方法的FWHM意思完全不一样，只能说我以前太小白了。呵呵。