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流泪的沙砾铁杆木虫 (正式写手)
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离子镀SiAlON涂层只得到了SiO和AlN相,得不到SiAlON相,基体为不锈钢和钛合金 已有1人参与
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请各位帮忙:本人现在正在多弧离子镀SiAlON涂层,基体是钛合金和不锈钢。实验工艺为:阴极靶材为Si-Al复合靶,I=70A,O=70,N=200,T=200度。 镀后做XRD分析,出现SiO和AlN两相,未出现SiAlON相,也未显示非晶相。镀此种涂层是做高温氧化和腐蚀。本人未查到相关文献,只有涂层的块体材料制备相关的文献,未得到多弧离子镀或磁控溅射相关文献及知识。 请各位有经验的,帮助指点,怎么出现SiAlON相,谢谢各位了。 |
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流泪的沙砾
铁杆木虫 (正式写手)
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