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流泪的沙砾铁杆木虫 (正式写手)
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离子镀SiAlON涂层只得到了SiO和AlN相，得不到SiAlON相，基体为不锈钢和钛合金 已有1人参与
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请各位帮忙：本人现在正在多弧离子镀SiAlON涂层，基体是钛合金和不锈钢。实验工艺为：阴极靶材为Si-Al复合靶，I=70A，O=70,N=200,T=200度。 镀后做XRD分析，出现SiO和AlN两相，未出现SiAlON相，也未显示非晶相。镀此种涂层是做高温氧化和腐蚀。本人未查到相关文献，只有涂层的块体材料制备相关的文献，未得到多弧离子镀或磁控溅射相关文献及知识。 请各位有经验的，帮助指点，怎么出现SiAlON相,谢谢各位了。  |
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流泪的沙砾
铁杆木虫 (正式写手)
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