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流泪的沙砾

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 离子镀SiAlON涂层只得到了SiO和AlN相,得不到SiAlON相,基体为不锈钢和钛合金 已有1人参与

请各位帮忙:本人现在正在多弧离子镀SiAlON涂层,基体是钛合金和不锈钢。实验工艺为:阴极靶材为Si-Al复合靶,I=70A,O=70,N=200,T=200度。
镀后做XRD分析,出现SiO和AlN两相,未出现SiAlON相,也未显示非晶相。镀此种涂层是做高温氧化和腐蚀。本人未查到相关文献,只有涂层的块体材料制备相关的文献,未得到多弧离子镀或磁控溅射相关文献及知识。
  请各位有经验的,帮助指点,怎么出现SiAlON相,谢谢各位了。
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别人对自己的否定都是假象,只有自己的才是最真的
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shzxh

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
流泪的沙砾: 金币+2, 谢谢回复 2014-10-27 21:45:27
我现在正好在做以Cu和Ti为靶材Cu为基体的滋控溅射的实验,我感觉在电流大小,反应室的真空度,溅射时间你可以列出正交实验表,多做几组进行对比,肯定能得出结果的,我是这样的。。
2楼2014-07-24 16:00:54
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流泪的沙砾

铁杆木虫 (正式写手)

谢谢二楼。但是我用的是多弧沉积,和磁控溅射原理根本不一样。另外这次沉积后XRD检测发现单质Si的峰很强,是最强峰。这是与我靶材中Al、Si原子比1:1有关。要命的是沉积完涂层做SEM,发现涂层内部竟然有裂纹!现在是出了很多问题。Al-Si-O-N涂层是用来检测氧化和腐蚀性能的,基本不做力学性能。
别人对自己的否定都是假象,只有自己的才是最真的
3楼2014-09-20 12:04:58
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