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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工艺设计与开发 » 离子镀SiAlON涂层只得到了SiO和AlN相，得不到SiAlON相，基体为不锈钢和钛合金
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流泪的沙砾

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 离子镀SiAlON涂层只得到了SiO和AlN相，得不到SiAlON相，基体为不锈钢和钛合金 已有1人参与

请各位帮忙：本人现在正在多弧离子镀SiAlON涂层，基体是钛合金和不锈钢。实验工艺为：阴极靶材为Si-Al复合靶，I=70A，O=70,N=200,T=200度。
镀后做XRD分析，出现SiO和AlN两相，未出现SiAlON相，也未显示非晶相。镀此种涂层是做高温氧化和腐蚀。本人未查到相关文献，只有涂层的块体材料制备相关的文献，未得到多弧离子镀或磁控溅射相关文献及知识。
  请各位有经验的，帮助指点，怎么出现SiAlON相,谢谢各位了。
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别人对自己的否定都是假象，只有自己的才是最真的
1楼 2014-04-02 17:10:02
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shzxh

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
流泪的沙砾: 金币+2, 谢谢回复 2014-10-27 21:45:27
我现在正好在做以Cu和Ti为靶材Cu为基体的滋控溅射的实验，我感觉在电流大小，反应室的真空度，溅射时间你可以列出正交实验表，多做几组进行对比，肯定能得出结果的，我是这样的。。
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2楼2014-07-24 16:00:54
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流泪的沙砾

铁杆木虫 (正式写手)
谢谢二楼。但是我用的是多弧沉积，和磁控溅射原理根本不一样。另外这次沉积后XRD检测发现单质Si的峰很强，是最强峰。这是与我靶材中Al、Si原子比1:1有关。要命的是沉积完涂层做SEM，发现涂层内部竟然有裂纹！现在是出了很多问题。Al-Si-O-N涂层是用来检测氧化和腐蚀性能的，基本不做力学性能。
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别人对自己的否定都是假象，只有自己的才是最真的
3楼2014-09-20 12:04:58
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