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铁虫 (小有名气)

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[求助] 用全部金币求助在石墨烯上制作电极的方法已有1人参与

各位大牛，

我最近在超净室在石墨烯上制作电极，总是出现问题，请问如何解决啊？

石墨烯是PECVD生长的，用湿法转移到样品（硅和ITO）表面，然后spin coat上PMMA（200-250 nm），用EBL做电极的pattern，然后放进sputtering里，做Ti/Au电极厚度大概是5nm/50nm左右，然后放进丙酮中（acetone），放了两天了，没有graphene的地方倒是很快被lift-off出来，有graphene的地方泡了两天都没变化~~~

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http://cheng.tju.edu.cn

1楼 2014-03-24 10:52:27

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vivian24684

新虫 (初入文坛)

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亲。你现在问题解决没有啊？我也要做电极，你用的是那篇文献啊？

2楼2014-07-03 16:00:54

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franckchen

银虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

调整下bake温度试试，温度太高，时间太长，确实不容易剥离。

[ 发自小木虫客户端 ]

3楼2014-12-02 00:49:11

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