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MID-INFRARED铁虫 (小有名气)
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[求助]
用全部金币求助在石墨烯上制作电极的方法 已有1人参与
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各位大牛， 我最近在超净室在石墨烯上制作电极，总是出现问题，请问如何解决啊？ 石墨烯是PECVD生长的，用湿法转移到样品（硅和ITO）表面，然后spin coat上PMMA（200-250 nm），用EBL做电极的pattern，然后放进sputtering里，做Ti/Au电极厚度大概是5nm/50nm左右，然后放进丙酮中（acetone），放了两天了，没有graphene的地方倒是很快被lift-off出来，有graphene的地方泡了两天都没变化~~~  跪求  |
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2楼2014-07-03 16:00:54
franckchen 
银虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
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- 散金: 180
- 帖子: 125
- 在线: 19.4小时
- 虫号: 2760475
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- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2014-12-02 00:49:11
