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铁虫 (小有名气)

[求助] 用全部金币求助在石墨烯上制作电极的方法 已有1人参与

各位大牛,

我最近在超净室在石墨烯上制作电极,总是出现问题,请问如何解决啊?

石墨烯是PECVD生长的,用湿法转移到样品(硅和ITO)表面,然后spin coat上PMMA(200-250 nm),用EBL做电极的pattern,然后放进sputtering里,做Ti/Au电极厚度大概是5nm/50nm左右,然后放进丙酮中(acetone),放了两天了,没有graphene的地方倒是很快被lift-off出来,有graphene的地方泡了两天都没变化~~~

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franckchen

银虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

调整下bake温度试试,温度太高,时间太长,确实不容易剥离。

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2014-12-02 00:49:11
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查看全部 3 个回答

vivian24684

新虫 (初入文坛)

亲。你现在问题解决没有啊?我也要做电极,你用的是那篇文献啊?
2楼2014-07-03 16:00:54
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