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ITO靶材SEM样品制备求助
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小弟刚刚开始学习ITO陶瓷靶材(In2O3和SnO2)的制备,需要对陶瓷靶材照扫描电镜图,请问怎么制备样品,表面抛光后是用热腐蚀还是化学腐蚀,热腐蚀的话温度时间怎么控制(ITO陶瓷的烧结温度在1550°C),化学腐蚀的具体用什么酸,或者就直接掰开看断面。 有于注册不久,才开始用,金币很少,谢谢啦。 |
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风水逸山
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