应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 衬底为闪烁体+ITO，用ICP刻蚀300nm氮化硅，深宽比略大于1
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 1070  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

chemney

新虫 (初入文坛)

[求助] 衬底为闪烁体+ITO，用ICP刻蚀300nm氮化硅，深宽比略大于1 已有1人参与

闪烁体上添加ITO做导电层，ITO上蒸镀300-400nm的氮化硅，需要在氮化硅上做空心圆柱阵列，周期为300nm，圆柱直径为180nm，请问各位前辈，若用ICP刻蚀的话，这样的深宽比可否可以实现？国内有哪个机构可以做？EBL应该选用哪种光刻胶比较合适？厚度如何？
是否需要采用硬掩模的方法，就是在氮化硅上添加一层Cr？如果采用硬掩模的方法，哪里可以做呢？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2014-03-18 21:00:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chemney

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2014-05-06 14:30:37
这个深宽比应该可以实现的。最主要是光刻胶掩膜制作，物理所、清华等地应该都可以做这个。

光刻胶直接做掩膜的话，PMMA胶需要也达到300-400nm厚甚至更高，这样给EBL曝光带来一定难度，请问是否有与氮化硅刻蚀比大于1：1的光刻胶呢？
赞一下 回复此楼
3楼2014-05-06 20:43:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
chemney: 金币+5, ★有帮助 2014-05-07 19:08:36
这个深宽比应该可以实现的。最主要是光刻胶掩膜制作，物理所、清华等地应该都可以做这个。
赞一下 回复此楼
2楼2014-05-06 14:30:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by chemney at 2014-05-06 20:43:47
光刻胶直接做掩膜的话，PMMA胶需要也达到300-400nm厚甚至更高，这样给EBL曝光带来一定难度，请问是否有与氮化硅刻蚀比大于1：1的光刻胶呢？...

有接近1:1的。EBL能量密度是多少
赞一下 回复此楼
4楼2014-05-06 20:58:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chemney

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting73 at 2014-05-06 20:58:27
有接近1:1的。EBL能量密度是多少...

我们的EBL最高电压是50kV，无法曝光300-400nm这么厚的胶。
赞一下 回复此楼
5楼2014-05-07 19:08:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085601材料工程找调剂 +14 oatmealR 2026-03-29 15/750 2026-03-29 21:48 by plmuchong
[考研] 各位老师好，我的一志愿为北京科技大学085601材料专硕 +9 Koxui 2026-03-28 9/450 2026-03-29 20:43 by 无际的草原
[考研] 349求调剂 +6 李木子啊哈哈 2026-03-25 6/300 2026-03-29 12:47 by 无际的草原
[考研] 本科新能源科学与工程，一志愿华理能动285求调剂 +3 AZMK 2026-03-27 5/250 2026-03-28 16:19 by xxxsssccc
[考研] 一志愿厦门大学化学学硕307求调剂 +10 y7czhao 2026-03-26 10/500 2026-03-28 14:23 by 唐沐儿
[考研] 308求调剂 +7 墨墨漠 2026-03-27 7/350 2026-03-28 07:43 by 热情沙漠
[考研] 086000调剂 +3 7901117076 2026-03-26 3/150 2026-03-27 21:34 by Jianing_Mi
[考研] 266求调剂 +11 阳阳哇塞 2026-03-27 12/600 2026-03-27 17:56 by yu221
[考研] 化学调剂 +4 爱吃番茄的旭 2026-03-24 5/250 2026-03-27 17:50 by kiokin
[考研] 一志愿华东理工大学081700，初试分数271 +6 kotoko_ik 2026-03-23 7/350 2026-03-27 12:29 by 惠州彭于晏
[考研] 298调剂 +3 jiyingjie123 2026-03-27 3/150 2026-03-27 11:57 by wxiongid
[考研] 求调剂 +3 刘柯@ 2026-03-24 4/200 2026-03-27 11:28 by shangxh
[考研] 314求调剂 +3 溪云珂 2026-03-26 3/150 2026-03-27 11:20 by sanrepian
[考研] 324求调剂 +8 hanamiko 2026-03-26 10/500 2026-03-27 08:06 by hypershenger
[考研] 求调剂 一志愿 本科 北科大 化学 343 +6 13831862839 2026-03-24 7/350 2026-03-26 22:57 by 不吃魚的貓
[考研] 085602化学工程求调剂。 +4 平乐乐乐 2026-03-26 4/200 2026-03-26 17:57 by fmesaito
[考研] 一志愿河工大 081700 276求调剂 +4 地球绕着太阳转 2026-03-23 4/200 2026-03-26 14:27 by zzll406
[考研] 一志愿吉林大学材料与化工303分求调剂 +4 为学666 2026-03-24 4/200 2026-03-25 11:27 by BruceLiu320
[考研] 生物学学硕求调剂 +7 小羊睡着了? 2026-03-23 10/500 2026-03-25 02:24 by 清风拂扬。 m
[考研] 材料/农业专业，07/08开头均可，过线就行 +3 呵唔哦豁 2026-03-23 4/200 2026-03-23 22:30 by 汪！？！
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭