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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 氧化铝钝化膜的PECVD制备方法
汕头大学海洋科学接受调剂
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ytusnow

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[求助] 氧化铝钝化膜的PECVD制备方法

请问除了用三甲基铝作为铝源，还有其他气体可以作为绿源吗
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1楼 2014-03-17 15:24:17
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