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测试薄膜的电阻率
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zishuiwxf
新虫
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虫号: 2519204
注册: 2013-06-24
性别:
MM
专业: 半导体材料
[
求助
]
测试薄膜的电阻率
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有电化学工作站,求怎么测试在导电玻璃上沉积的半导体薄膜的电阻率,万分感谢。
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心得交流
1楼
2014-03-13 10:54:04
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【答案】应助回帖
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用四探针电阻仪可以测导电薄膜的方块电阻,如果知道薄膜厚度就可得导电薄膜的电阻率。
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5楼
2014-03-13 21:48:40
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9楼
:
Originally posted by
zym19821116
at 2017-09-07 10:16:42
你好,我做的MnGa薄膜大概20nm,用霍尔测试系统测量的霍尔电阻是0.58欧,怎么求得霍尔电阻率呢,有参考文献吗?...
参考这篇文献:
https://wenku.baidu.com/view/d47b305a763231126fdb1102.html
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10楼
2017-09-07 10:47:08
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