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对材料进行深度方向元素分析的检测手段有哪些？ 已有2人参与
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| 了解到目前已有的一些进行元素分析的检测手段，但是感觉都不适合检测我的试样。我的样品是石墨衬底上有钛和硅的过渡层，最上面生长的金刚石，想知道从表面开始沿深度方向的元素分布，元素就是C、Si、Ti啦，检测厚度大概几微米左右。望高人指点！ |
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