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奇奇趣

新虫 (初入文坛)

[求助] 对材料进行深度方向元素分析的检测手段有哪些? 已有2人参与

了解到目前已有的一些进行元素分析的检测手段,但是感觉都不适合检测我的试样。我的样品是石墨衬底上有钛和硅的过渡层,最上面生长的金刚石,想知道从表面开始沿深度方向的元素分布,元素就是C、Si、Ti啦,检测厚度大概几微米左右。望高人指点!
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
先做一个截面的试样。然后沿厚度方向的不同点进行SEM的能谱EDS的点扫描即可定性分析(C可能有点困难,但据说现在最新的Bruker的EDS能谱仪可测5号以后的元素)。
3楼2014-03-12 20:55:48
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