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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 对材料进行深度方向元素分析的检测手段有哪些？
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奇奇趣

新虫 (初入文坛)

[求助] 对材料进行深度方向元素分析的检测手段有哪些？ 已有2人参与

了解到目前已有的一些进行元素分析的检测手段，但是感觉都不适合检测我的试样。我的样品是石墨衬底上有钛和硅的过渡层，最上面生长的金刚石，想知道从表面开始沿深度方向的元素分布，元素就是C、Si、Ti啦，检测厚度大概几微米左右。望高人指点！
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1楼 2014-03-12 16:46:14
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小背包

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

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XPS边刻蚀边检测分析，具体问测试人员。
或者做出截面样品，SEM中EDS，但这里面的C含量不一定准确。
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初生牛犊
2楼2014-03-12 16:57:59
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
先做一个截面的试样。然后沿厚度方向的不同点进行SEM的能谱EDS的点扫描即可定性分析（C可能有点困难，但据说现在最新的Bruker的EDS能谱仪可测5号以后的元素）。
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3楼2014-03-12 20:55:48
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