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等离子体氧化要采用什么仪器 已有1人参与
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| 想将Ni氧化，表面形成一层20nm以内的NiO，以前是在空气中热氧化，但是重复性稳定性不好，看文献里有提到plasma oxidation，但是细节方面不详细，网上一搜貌似都是等离子体电解氧化，和这种腔体里的不一样。想请教一下懂这方面的虫友，等离子体氧化有专门的仪器么，要采用什么仪器？ |
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xcrbdhm
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