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houhualong木虫 (正式写手)
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请问有做直流等离子体氧化的虫友？重金相邀，进来讨论下哈。路过的虫友可来围观。。 已有1人参与
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如题，想要通过直流等离子体氧化的方法将Ti 氧化获得TiOx，但相关文献几乎没有，我们这个仪器可调参数就是O2流量，功率两个，通过将氧气电离，轰击Ti表面，有做过这方面的大仙吗，可以指点一二，纠结中，跪求！金币不是问题！ 主要就是机理这一块，流量，功率对膜层耐蚀及亲水性等的影响。 [ Last edited by houhualong on 2014-1-7 at 19:21 ] |
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2楼2014-01-14 21:49:04
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请问是通入Ar吗？离子反溅清洗？ 3楼2014-01-14 21:59:41
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