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houhualong木虫 (正式写手)
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请问有做直流等离子体氧化的虫友?重金相邀,进来讨论下哈。路过的虫友可来围观。。已有1人参与
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如题,想要通过直流等离子体氧化的方法将Ti 氧化获得TiOx,但相关文献几乎没有,我们这个仪器可调参数就是O2流量,功率两个,通过将氧气电离,轰击Ti表面,有做过这方面的大仙吗,可以指点一二,纠结中,跪求!金币不是问题! 主要就是机理这一块,流量,功率对膜层耐蚀及亲水性等的影响。 [ Last edited by houhualong on 2014-1-7 at 19:21 ] |
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请问是通入Ar吗?离子反溅清洗?