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hittyk

金虫 (正式写手)

[求助] HF酸加热操作 已有5人参与

想用水浴加热HF酸来腐蚀SOI的埋氧层。之前只是在常温下进行操作,没有过加热操作。担心HF酸的挥发性,不知道需要有哪些注意事项。需要用保鲜膜之类的将聚四氟的烧杯密封么?
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静以修身,俭以养德
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖


sddtc888: 金币+1, 应助指数+1, 感谢应助,欢迎常来! 2014-03-14 09:40:17
这样不好吧。加热会加速HF的挥发,氟酸浓度低了效果会更不好,再加上挥发气体有毒,更不好。建议增加超声震荡措施试一试。
7楼2014-03-14 09:03:04
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橡胶人

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
3楼2014-03-11 09:25:40
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redmast

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
sddtc888: 金币+1, 感谢应助,欢迎常来! 2014-03-12 18:40:30
必须要在通风橱里面进行!!!
最好有专门的防护工具,带上防酸手套,戴上面具(我们实验室就这样弄的)
能不用加热就不要用,HF的危险性不容忽视
4楼2014-03-12 15:30:45
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hittyk

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by redmast at 2014-03-12 15:30:45
必须要在通风橱里面进行!!!
最好有专门的防护工具,带上防酸手套,戴上面具(我们实验室就这样弄的)
能不用加热就不要用,HF的危险性不容忽视

恩,现在是这么做的。谢谢。
静以修身,俭以养德
5楼2014-03-12 18:34:50
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