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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 实验技术 » HF酸加热操作
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hittyk

金虫 (正式写手)

[求助] HF酸加热操作已有5人参与

想用水浴加热HF酸来腐蚀SOI的埋氧层。之前只是在常温下进行操作，没有过加热操作。担心HF酸的挥发性，不知道需要有哪些注意事项。需要用保鲜膜之类的将聚四氟的烧杯密封么？
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静以修身，俭以养德
1楼2014-03-11 01:07:12
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★
sddtc888: 金币+1, 应助指数+1, 感谢应助，欢迎常来！ 2014-03-14 09:40:17
这样不好吧。加热会加速HF的挥发，氟酸浓度低了效果会更不好，再加上挥发气体有毒，更不好。建议增加超声震荡措施试一试。
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7楼2014-03-14 09:03:04
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