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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 铜膜的湿法刻蚀
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miduouncle

新虫 (初入文坛)

[交流] 铜膜的湿法刻蚀 已有2人参与

目前在做有关铜膜（100um厚）的湿法刻蚀，铜膜是电弧喷涂上去的，比较粗糙，采用高或低浓度的FeCl3溶液进行腐蚀，都无法获得理想的图形，用光刻胶做掩膜，有500um的宽度。请各位帮帮忙，怎样才能获得比较好的刻蚀图形。
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1楼 2014-03-10 18:13:56
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
换更快的腐蚀液，HCl+H2O2，用喷射的腐蚀方法。
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2楼2014-03-14 17:55:46
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exciting73

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
腐蚀时加搅拌试试
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3楼2014-05-06 14:01:01
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miduouncle

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-03-14 17:55:46
换更快的腐蚀液，HCl+H2O2，用喷射的腐蚀方法。

好的，谢谢
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4楼2014-08-06 22:09:34
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