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铜膜的湿法刻蚀 已有2人参与
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| 目前在做有关铜膜（100um厚）的湿法刻蚀，铜膜是电弧喷涂上去的，比较粗糙，采用高或低浓度的FeCl3溶液进行腐蚀，都无法获得理想的图形，用光刻胶做掩膜，有500um的宽度。请各位帮帮忙，怎样才能获得比较好的刻蚀图形。 |
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