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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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miduouncle

新虫 (初入文坛)

[交流] 铜膜的湿法刻蚀 已有2人参与

目前在做有关铜膜(100um厚)的湿法刻蚀,铜膜是电弧喷涂上去的,比较粗糙,采用高或低浓度的FeCl3溶液进行腐蚀,都无法获得理想的图形,用光刻胶做掩膜,有500um的宽度。请各位帮帮忙,怎样才能获得比较好的刻蚀图形。
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
换更快的腐蚀液,HCl+H2O2,用喷射的腐蚀方法。
2楼2014-03-14 17:55:46
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exciting73

金虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
腐蚀时加搅拌试试
3楼2014-05-06 14:01:01
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miduouncle

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-03-14 17:55:46
换更快的腐蚀液,HCl+H2O2,用喷射的腐蚀方法。

好的,谢谢
4楼2014-08-06 22:09:34
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