| 查看: 1958 | 回复: 6 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
遇到一难题，光刻过程中的精度问题 已有2人参与
|
||
|
本人现在从事非晶薄膜研究，现希望在薄膜表面选择性的涂覆光刻胶，即在特定的地方有光刻胶，在其他的地方没有。这就需要在曝光过程中，使掩膜板上透光的区域精确对齐薄膜上需要覆光刻胶的区域（我用的是负胶）。需要涂覆光刻胶的区域大约200微米。在光刻过程中，薄膜置于掩膜板下方，中间隔了2到3厘米，使得对齐很难进行。 请教各位有没有好一点的方法能实现对齐。 |
回复此楼» 猜你喜欢
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有260人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 负胶光刻做倒梯形的程度与曝光时间有什么关系？？
已经有10人回复
5楼2016-12-11 14:20:38
2楼2014-02-27 13:06:54
3楼2014-03-10 21:55:57
蚊子咬了猪猪
铜虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 251.9
- 散金: 20
- 帖子: 72
- 在线: 17.6小时
- 虫号: 3935855
- 注册: 2015-06-23
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2016-12-11 13:32:08
