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朱雪婷

铜虫 (小有名气)


[交流] Cu与氧化铝陶瓷基板的附着力问题

我溅射了一层种子层铜(500nm),光刻出图形(胶厚3微米),再电镀铜至10微米,电镀出来后附着力不好,请问这与做阻挡层的光刻胶有关吗,或者是与溅射Cu层厚度有关,还是溅射层与电镀层的界面结合不好有关?该如何改善
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subtle_dream

铁杆木虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by camillia at 2016-09-14 11:17:38
你可以用生成铜氧共晶的方法来做啊,附着力轻松上百牛

铜氧共晶,是指高温部分氧化吗?
10楼2017-12-21 17:31:13
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luwei1117

禁虫 (初入文坛)


朱雪婷(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽

4楼2016-09-13 22:25:55
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luwei1117

禁虫 (初入文坛)

本帖内容被屏蔽

5楼2016-09-13 22:26:44
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camillia

铜虫 (小有名气)



朱雪婷(金币+1): 谢谢参与
你可以用生成铜氧共晶的方法来做啊,附着力轻松上百牛
8楼2016-09-14 11:17:38
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2014-02-27 07:48   回复  
朱雪婷(金币+1): 谢谢参与
1 [ 发自小木虫客户端 ]
huaqiang16楼
2016-09-13 23:00   回复  
朱雪婷(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
huaqiang17楼
2016-09-13 23:01   回复  
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