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Cu与氧化铝陶瓷基板的附着力问题
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朱雪婷
铜虫
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[交流]
Cu与氧化铝陶瓷基板的附着力问题
我溅射了一层种子层铜(500nm),光刻出图形(胶厚3微米),再电镀铜至10微米,电镀出来后附着力不好,请问这与做阻挡层的光刻胶有关吗,或者是与溅射Cu层厚度有关,还是溅射层与电镀层的界面结合不好有关?该如何改善
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luwei1117
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朱雪婷(金币+1): 谢谢参与
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4楼
2016-09-13 22:25:55
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luwei1117
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2016-09-13 22:26:44
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camillia
铜虫
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★
朱雪婷(金币+1): 谢谢参与
你可以用生成铜氧共晶的方法来做啊,附着力轻松上百牛
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8楼
2016-09-14 11:17:38
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luwei1117
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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9楼
2016-09-15 10:25:35
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subtle_dream
铁杆木虫
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虫号: 2516429
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
8楼
:
Originally posted by
camillia
at 2016-09-14 11:17:38
你可以用生成铜氧共晶的方法来做啊,附着力轻松上百牛
铜氧共晶,是指高温部分氧化吗?
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10楼
2017-12-21 17:31:13
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syhorchid
2楼
2014-02-27 00:08
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朱雪婷(金币+1): 谢谢参与
kiss20085537
3楼
2014-02-27 07:48
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朱雪婷(金币+1): 谢谢参与
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[ 发自小木虫客户端 ]
huaqiang1
6楼
2016-09-13 23:00
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朱雪婷(金币+1): 谢谢参与
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huaqiang1
7楼
2016-09-13 23:01
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