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ALD(原子层沉积系统),
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liushui2588
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ALD(原子层沉积系统),
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请问哪个单位有ALD(原子层沉积系统),在半导体上沉积几层氧化物,急求
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1楼
2014-02-20 09:46:34
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小目蟲
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专业: 金属材料表面科学与工程
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7楼
:
Originally posted by
xia0625
at 2016-02-21 16:42:55
楼主你有没有找到原子层沉积系统的卖价?
最贵的应该是芬兰Picosun的,不过性能质量各方面的确做的不错,预算多可以考虑他们家
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8楼
2019-05-08 00:33:12
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
【答案】应助回帖
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感谢参与,应助指数 +1
请确认 你基片的尺寸, 主要镀那几种薄膜, 以及厚度。 国内很多单位都有ALD 设备, 主要是能做的膜层种类各家不同。 可以相互交流 lisx2525@
163.com
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2楼
2014-02-21 13:37:48
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dulong107
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liushui2588: 金币+50
2014-11-27 10:37:46
上海交通大学,复旦大学都有ALD设备,我就准备过去做氧化铝钝化膜。
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3楼
2014-11-25 16:48:56
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杨露月yly
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3楼
:
Originally posted by
dulong107
at 2014-11-25 16:48:56
上海交通大学,复旦大学都有ALD设备,我就准备过去做氧化铝钝化膜。
请问一下买一个这个系统一般要多少钱啊?!贵吗?
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4楼
2015-01-10 13:38:23
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