| 查看: 4435 | 回复: 3 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
whitbear新虫 (初入文坛)
|
[求助]
请问有做CD-SEM纳米线宽测量方面实验的吗？或者比较了解CD-SEM仪器的 已有1人参与
|
|||
|
请问有做CD-SEM纳米线宽测量方面实验的吗？或者比较了解CD-SEM仪器的，或者纳米尺度测量方面的高手，有几个问题想要咨询 1、CD-SEM与SEM的主要区别 2、CD-SEM实验中线宽确定的算法是什么呢？ 非常感谢 |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有229人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 合成四氧化三铁如果做SEM的话样品怎么样处理才比较好呢？
已经有38人回复
- 如何测量微米级的颗粒的密度，有什么方法或者用什么仪器？
已经有5人回复
- SEM或者TEM电镜 能做线扫描元素分析的 能告知下么？
已经有9人回复
- 请问现在做纳米综合测量仪（力学性能）测试仪最好的仪器厂商有哪些？
已经有5人回复
- 请问炭化得到的多孔碳做SEM表征前研磨成粉末吗？
已经有17人回复
- 请问用AAO制备的纳米线做SEM表征后续处理问题
已经有12人回复
whitbear
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 59
- 散金: 4
- 帖子: 30
- 在线: 10.1小时
- 虫号: 2129683
- 注册: 2012-11-16
- 专业: 凝聚态物性I:结构、力学和
非常感谢， 还有点疑问，“可根据已有算法自动计算线条宽度”，能说说具体是什么算法吗？是对线条二次电子强度分布图线进行怎样的处理，自动计算线条宽度的呢？再请问可有CD-SEM说明文件之类的，原理性或具体操作性的均可，非常感谢 
3楼2014-02-20 17:03:44
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
whitbear: 金币+20, ★★★★★最佳答案, 非常感谢 2014-03-05 11:10:57
感谢参与，应助指数 +1
whitbear: 金币+20, ★★★★★最佳答案, 非常感谢 2014-03-05 11:10:57
|
CD SEM和普通的SEM没有本质区别。 CD SEM是半导体工业中最常用的检测手段，主要用来检测光刻显影后光刻胶的线宽，由此带来了几个和普通SEM的区别。 1. 可以直接观测有机物的形貌尺寸。电子能量低，电荷累积效应小。不需要对样品进行喷金处理。 2. 真空腔室大。不同型号的设备，可以放置从4英寸到12英寸，甚至450mm直径的wafer。 3. 自动化程度高。可根据已有标记自动寻找测量位置，可根据已有算法自动计算线条宽度。可根据测量结果自动生成测量数据文件和图表。 |
2楼2014-02-20 13:59:54
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
4楼2014-02-25 16:16:22
投票:
10