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whitbear新虫 (初入文坛)
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请问有做CD-SEM纳米线宽测量方面实验的吗？或者比较了解CD-SEM仪器的已有1人参与
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请问有做CD-SEM纳米线宽测量方面实验的吗？或者比较了解CD-SEM仪器的，或者纳米尺度测量方面的高手，有几个问题想要咨询 1、CD-SEM与SEM的主要区别 2、CD-SEM实验中线宽确定的算法是什么呢？ 非常感谢 |
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yswyx 
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【答案】应助回帖
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whitbear: 金币+20, ★★★★★最佳答案, 非常感谢 2014-03-05 11:10:57
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CD SEM和普通的SEM没有本质区别。 CD SEM是半导体工业中最常用的检测手段，主要用来检测光刻显影后光刻胶的线宽，由此带来了几个和普通SEM的区别。 1. 可以直接观测有机物的形貌尺寸。电子能量低，电荷累积效应小。不需要对样品进行喷金处理。 2. 真空腔室大。不同型号的设备，可以放置从4英寸到12英寸，甚至450mm直径的wafer。 3. 自动化程度高。可根据已有标记自动寻找测量位置，可根据已有算法自动计算线条宽度。可根据测量结果自动生成测量数据文件和图表。 |
2楼2014-02-20 13:59:54
whitbear
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非常感谢， 还有点疑问，“可根据已有算法自动计算线条宽度”，能说说具体是什么算法吗？是对线条二次电子强度分布图线进行怎样的处理，自动计算线条宽度的呢？再请问可有CD-SEM说明文件之类的，原理性或具体操作性的均可，非常感谢3楼2014-02-20 17:03:44
yswyx
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4楼2014-02-25 16:16:22