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ywhoo

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[交流] 【求助】请问哪位行家知道微动工作台的国内外发展现状？【散金】

请问哪位大大知道微动工作台的国内外发展现状？
首先是哪些公司（产业）的现状，平移精度、分辨力，旋转精度、分辨力等指标。
其次是学术上的发展现状，哪些单位在研究上已经领先了？
我们想买平台，要求重复精度：平移0.1um，旋转0.005度。所以来请教大家！
谢谢！
散金求知！

[ Last edited by ywhoo on 2008-1-19 at 16:17 ]

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1楼 2008-01-19 16:13:29

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