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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 纳米制备艺术（15）：硅尖列阵制备工艺（EBL）
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

[交流] 纳米制备艺术（15）：硅尖列阵制备工艺（EBL）

【本木虫郑重声明：本人在小木虫网站上展示的所有纳米结果，都是本人自己的工作。】

从本帖子开始，Giantslug将陆续用几个帖子，给大家介绍纳米硅尖列阵的制备工艺。
纳米制备艺术（15）：硅尖列阵制备工艺（EBL）
第一步：在长有300纳米后的SiO2薄膜的硅片上，采用电子束光刻计算，光刻出光刻胶列阵。这里的柱子都是光刻胶。
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纳米制备的艺术

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展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家，是本木虫的宗旨。
1楼 2014-02-15 01:54:06
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智能机器人

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