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纳米制备艺术（15）：硅尖列阵制备工艺（EBL）
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【本木虫郑重声明：本人在小木虫网站上展示的所有纳米结果，都是本人自己的工作。】 从本帖子开始，Giantslug将陆续用几个帖子，给大家介绍纳米硅尖列阵的制备工艺。  第一步：在长有300纳米后的SiO2薄膜的硅片上，采用电子束光刻计算，光刻出光刻胶列阵。这里的柱子都是光刻胶。 |
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 纳米制备的艺术 |
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