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[交流]
【求助】磁控溅射制备薄膜
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有没有用磁控溅射制备薄膜的？在这发个贴子，希望大家讨论一下。我用磁控溅射做了一段时间的薄膜了，最近出了点问题，因找不到好的文献，所以请有经验的朋友来这里交流一下心得，谢谢!我用的是JCP-300，泰科诺的，设备使用起来 不太稳定，特别是重复性不好，不知道有没有虫友遇到过类似的问题！ [ Last edited by zt970831 on 2008-4-28 at 22:45 ] |
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