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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射制备薄膜
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渔翁860

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】磁控溅射制备薄膜

有没有用磁控溅射制备薄膜的？在这发个贴子，希望大家讨论一下。我用磁控溅射做了一段时间的薄膜了，最近出了点问题，因找不到好的文献，所以请有经验的朋友来这里交流一下心得，谢谢!我用的是JCP-300，泰科诺的，设备使用起来 不太稳定，特别是重复性不好，不知道有没有虫友遇到过类似的问题！

[ Last edited by zt970831 on 2008-4-28 at 22:45 ]
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1楼 2008-01-15 21:54:39
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主
问题描述?机器型号?
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从此不问江湖事
2楼2008-01-15 22:28:24
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渔翁860

金虫 (正式写手)
主要是稳定性和重复性方面不好！我用的北京泰科诺的JCP-300
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3楼2008-01-16 08:58:34
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haikee

银虫 (小有名气)
★
zt970831(金币+1,VIP+0):谢谢您的答复：）
看你的描述，是仪器本身的性能有问题......
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4楼2008-01-16 09:29:07
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渔翁860

金虫 (正式写手)
对啊 ，所以求助高手指导！现在所有磁控溅射设备都有类似的问题，可能我们的设备稍微落后，如果虫友有好的方法，请提供！谢谢！
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5楼2008-01-16 10:17:06
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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹
天啊，我们课题组也买了一台，马上就到货了，不会也这样吧
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以后是做爹的人啦
6楼2008-03-06 12:50:20
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liuren660

★
zt970831(金币+1,VIP+0):谢谢您的答复；欢迎常来物理版：）
如果溅射速率差不多的话,应该是测试厚度仪器的问题.
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7楼2008-03-06 13:45:19
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FePt

木虫 (正式写手)
★ ★
zt970831(金币+2,VIP+0):谢谢您的热心应助；欢迎常来物理版：）
国产仪器存在一些问题，不过总体来说，能用

要多摸索，积累经验

还有就是，如果真空不稳定，样品又不重复

首先看一下，你的材料体系是不是对真空很敏感，比如对氧气很敏感？

这样才能对症下药
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8楼2008-03-06 14:59:03
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haikee

银虫 (小有名气)
★ ★
musi429(金币+2,VIP+0):thanks,有空常来~~
我做过金属的溅射，用的也是国产溅射仪器，XPS测试发现里面O很多，金属还跟O反应了，溅射很失败，估计楼主跟我这个情况差不多吧
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9楼2008-03-13 11:18:45
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wql110

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
lvzhu2007(金币+2,VIP+0):鼓励新虫,感谢交流~
可能是真空系统有问题,再一个你加的偏压是不是正常,以及靶和样品的间距也会影响到最后的溅射效果...
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10楼2008-04-24 15:25:58
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