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[交流]
【求助】磁控溅射制备薄膜
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有没有用磁控溅射制备薄膜的?在这发个贴子,希望大家讨论一下。我用磁控溅射做了一段时间的薄膜了,最近出了点问题,因找不到好的文献,所以请有经验的朋友来这里交流一下心得,谢谢!我用的是JCP-300,泰科诺的,设备使用起来 不太稳定,特别是重复性不好,不知道有没有虫友遇到过类似的问题! [ Last edited by zt970831 on 2008-4-28 at 22:45 ] |
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