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新虫 (初入文坛)

[交流] 大家看看这个镍膜的SEM为什么变成这个样子了... 已有5人参与

上图是我用硅/二氧化硅/50nm镍膜上进行RTP快速退火后的镍膜的SEM图像，温度900度，图中亮的部分应该是镍，但是不知道为什么镍变成这个样子了，按理来说镍的熔点很高，不应该融化变成这个样子啊，不知道有人知道这是怎么回事吗？
是在高纯氩气氛下进行的退火。
退火前的镍膜SEM图如下：

[ Last edited by dignity321 on 2014-1-19 at 15:56 ]

1楼 2014-01-19 15:54:16

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铜虫 (初入文坛)

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一般金属薄膜在带氧化层的硅片上润湿性不好，高温下比较容易团聚形成粒子。

之前有工作通过沉积金属薄膜然后生长石墨烯，这样的金属膜通常需要达到200 nm，才能在表面形成连续的金属薄膜。

6楼2014-01-20 14:18:25

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铜虫 (初入文坛)

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引用回帖:

7楼: Originally posted by dignity321 at 2014-01-21 09:16:55
我用200nm做了一样的退火实验，结果还是差不多，这次还用的CVD退火...

不知道你沉积的厚度是不是准确，如果准确的话，应该不会这样的。另外是不是可以控制一下升温速率，和退火气氛

8楼2014-01-23 12:48:11

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