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physics123

银虫 (小有名气)

[求助] ITO 靶制备 已有2人参与

请教:用于磁控溅射的ITO靶,是否只能用绑定铜背板的办法制备?ITO不能直接加工打孔安装不?
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
若能够得到有效冷却就可以,否则不行。
2楼2014-01-18 22:13:59
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physics123

银虫 (小有名气)

多谢指教!
3楼2014-01-20 13:35:18
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physics123

银虫 (小有名气)

ITO的导磁效果如何?
4楼2014-01-20 14:25:31
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dql52213

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

穿越千年: 鼓励交流 2014-01-22 13:54:19
穿越千年: 应助指数+1, 有效应助 2014-01-22 13:54:59
直接买个铜靶垫在下面也行,亲试有效,功率100W以内。
科学这个东西实在是。。。。。。
5楼2014-01-22 09:13:42
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physics123

银虫 (小有名气)

多谢提供宝贵经验!
6楼2014-01-25 13:47:18
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