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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » ITO 靶制备
汕头大学海洋科学接受调剂
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physics123

银虫 (小有名气)

[求助] ITO 靶制备 已有2人参与

请教：用于磁控溅射的ITO靶，是否只能用绑定铜背板的办法制备？ITO不能直接加工打孔安装不？
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1楼 2014-01-18 17:13:49
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
若能够得到有效冷却就可以，否则不行。
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2楼2014-01-18 22:13:59
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physics123

银虫 (小有名气)
多谢指教！
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3楼2014-01-20 13:35:18
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physics123

银虫 (小有名气)
ITO的导磁效果如何？
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4楼2014-01-20 14:25:31
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dql52213

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

穿越千年: 鼓励交流 2014-01-22 13:54:19
穿越千年: 应助指数+1, 有效应助 2014-01-22 13:54:59
直接买个铜靶垫在下面也行，亲试有效，功率100W以内。
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科学这个东西实在是。。。。。。
5楼2014-01-22 09:13:42
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physics123

银虫 (小有名气)
多谢提供宝贵经验！
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6楼2014-01-25 13:47:18
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